吴德馨，女，1936年12月20日出生于河北乐亭县 ，半导体器件和集成电路专家，中国科学院学部委员，中国科学院微电子所研究员 。

吴德馨于1961年从清华大学无线电电子工程系毕业后分配至中国科学院半导体研究所工作；1986年调入中国科学院微电子中心工作；1991年至1997年担任中国科学院微电子中心第二届、第三届主任；1991年当选为中国科学院学部委员（院士）。1992年被中华人民共和国国家科学技术委员会聘为“深亚微米结构器件和介观物理”项目首席科学家。

吴德馨主要从事砷化镓微波集成电路和光电模块的研究